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央視財經(jīng)《非凡十年看名企》專題報道二所第三代半導體發(fā)展成果
發(fā)布時間：
2022-09-21
概要：
9月19日，央視財經(jīng)頻道《經(jīng)濟信息聯(lián)播》《非凡十年看名企》欄目專題報道了2所在第三代半導體裝備領域取得的重要突破。
第三代半導體碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中最為重要的一個環(huán)節(jié)就是碳化硅襯底材料的制備，這種材料需要在2500度以上的高溫以及真空環(huán)境中生長，連續(xù)生長時間往往要超過10天。由于晶體生長工藝要求苛刻，整個生長過程都像是在"開盲盒"，因此對碳化硅單晶生長爐裝備提出了很高的要求。
十年前，2所就開始涉足第三代半導體碳化硅裝備的研發(fā)，近十年的時間，前后研發(fā)出碳化硅單晶生長爐、碳化硅粉料合成爐、碳化硅晶體退火爐、籽晶粘接爐等碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中的多款核心裝備。
近年來，2所聚焦“大尺寸化、快速生產(chǎn)化、高良率化、全自動化、低能耗化”目標，攻關形成第三代半導體核心裝備研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化和整線解決方案，基于自主研發(fā)的全自動碳化硅單晶生長設備，實現(xiàn)了高質量碳化硅單晶生長。
第三代半導體的窗口已經(jīng)打開，2所將繼續(xù)加大研發(fā)力度，以"智能制造"和"人工智能"技術為碳化硅裝備賦能，將"智能長晶技術"應用到碳化硅單晶生長爐上面，讓原有的"開盲盒"過程變成"可視化"的生長過程，努力把裝備做精做好，為第三代半導體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展添磚加瓦！
來源/央視財經(jīng)
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